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技術特點
高產能、高良率
一次曝光成像
分區(qū)對位
高精度、高對準
多種漲縮對位模式
可配全自動連線
設備參數
最小線寬/距：30/30μm
產能：480片/小時
最大板尺寸：24.8"*28.8"
對位精度：±12μm
層間對位精度：24μm
線寬均勻性：±10%
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